6英寸體硅工藝為主，可實(shí)現(xiàn)多種工藝的加工服務(wù)
轉(zhuǎn)臺(tái)能力:
角位置定位精度 土5”
位置重復(fù)精度 ±3“
角速率范圍(°/s) ±0.001~±3600
溫控性能：
工作溫度范圍 -55℃～+130℃
溫度波動(dòng)度 ≤±1℃
溫度均勻度 ≤±2℃
溫度偏差 ≤±2℃
變溫速率 ≥2℃/min
測(cè)試能力：
陀螺測(cè)試
慣導(dǎo)測(cè)試
加速度計(jì)非線性測(cè)試等
單軸溫控轉(zhuǎn)臺(tái)
轉(zhuǎn)臺(tái)能力:
角位置定位精度 土5”
位置重復(fù)精度 ±3“
角速率范圍(°/s) ±0.001~±3600
溫控性能：
工作溫度范圍 -55℃～+130℃
溫度波動(dòng)度 ≤±1℃
溫度均勻度 ≤±2℃
溫度偏差 ≤±2℃
變溫速率 ≥2℃/min
測(cè)試能力：
陀螺測(cè)試
慣導(dǎo)測(cè)試
加速度計(jì)非線性測(cè)試等
單軸溫控轉(zhuǎn)臺(tái)
