6英寸體硅工藝為主，可實(shí)現(xiàn)多種工藝的加工服務(wù)
模擬采集：
測(cè)試電壓 100nv~1000V
電阻（2-線） 500μΩ~120MΩ
通道：80
數(shù)字采集：
時(shí)鐘頻率（全雙工） 最大36MHz
時(shí)鐘頻率（硬件或者軟件） 最大18MHz
溫控參數(shù)：
溫控 范圍 -60℃~150℃
升降溫速率 2℃/min
溫度波動(dòng)度：<±0.5℃ (恒定狀態(tài)時(shí))
溫度偏差：±2℃ (空載)
溫度均勻度：<±2℃ (恒定狀態(tài)時(shí))
設(shè)定精度：0.1℃
轉(zhuǎn)臺(tái)精度：
Minimum Incremental Motion ：0.72＂
Absolute Accuracy ：±25.2＂
測(cè)試能力：
加速度計(jì)重力場(chǎng)標(biāo)定
加速度重復(fù)性和穩(wěn)定性測(cè)試
溫度性能測(cè)試
加速度計(jì)分辨率測(cè)試等
溫控分度頭
模擬采集：
測(cè)試電壓 100nv~1000V
電阻（2-線） 500μΩ~120MΩ
通道：80
數(shù)字采集：
時(shí)鐘頻率（全雙工） 最大36MHz
時(shí)鐘頻率（硬件或者軟件） 最大18MHz
溫控參數(shù)：
溫控 范圍 -60℃~150℃
升降溫速率 2℃/min
溫度波動(dòng)度：<±0.5℃ (恒定狀態(tài)時(shí))
溫度偏差：±2℃ (空載)
溫度均勻度：<±2℃ (恒定狀態(tài)時(shí))
設(shè)定精度：0.1℃
轉(zhuǎn)臺(tái)精度：
Minimum Incremental Motion ：0.72＂
Absolute Accuracy ：±25.2＂
測(cè)試能力：
加速度計(jì)重力場(chǎng)標(biāo)定
加速度重復(fù)性和穩(wěn)定性測(cè)試
溫度性能測(cè)試
加速度計(jì)分辨率測(cè)試等
溫控分度頭
